Uređaj za depoziciju atomskih slojeva (ALD)
Oprema je kupljena u sklopu projekta Razvoj istraživačke infrastrukture na kampusu Sveučilišta u Rijeci (RISK), koji je sufinancirala Europska unija iz Europskog fonda za regionalni razvoj.
Beneq TFS 200 ALD sistem s plazmom za PEALD i generatorom ozona
Kontakt
Centar za mikro i nano znanosti i tehnologije
Radmile Matejčić 2
51000 Rijeka, Hrvatska
Voditelj projekta SIZIF:
Prof. dr. sc. Mladen Petravić
Tel: +385 51 584 760
Fax: +385 51 584 649
e-mail: Ova e-mail adresa je zaštićena od spambota. Potrebno je omogućiti JavaScript da je vidite.
Stručni suradnik za upravljanje projektom SIZIF:
Patricia Petrović, mag.oec.
Tel: +385 51 406 525
Fax: +385 51 406 588
e-mail: Ova e-mail adresa je zaštićena od spambota. Potrebno je omogućiti JavaScript da je vidite.
